Verbesserung der Gleichmässigkeit von Beschichtungen bei Abscheidungsinhibitions-Abscheidungsprozessen

EP4487374 Art A1 8. Januar 2025

Anmelder: Lam Research Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4487374
Aktenzeichen: EP23763848
Anmeldetag: 28. Februar 2023
Veröffentlichung: 8. Januar 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/687H01L21/67H01L21/677

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Lam Research Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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