Statusüberwachung und Meldung für Ultraviolettlichtquellen

EP4490576 Art A1 15. Januar 2025

Anmelder: Cymer, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4490576
Aktenzeichen: EP23714900
Anmeldetag: 6. März 2023
Veröffentlichung: 15. Januar 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/00G06F3/0483G06F3/04847

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Cymer, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

399 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung

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