Korrektur der Aberration eines Mikroskops

EP4492427 Art A1 15. Januar 2025

Anmelder: FEI Company 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4492427
Aktenzeichen: EP24185057
Anmeldetag: 27. Juni 2024
Veröffentlichung: 15. Januar 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/153H01J37/21H01J37/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: FEI Company
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 FEI Company

US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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