Stabile Chemisch-Mechanische Polierzusammensetzungen und Verfahren zur Hochgeschwindigkeits-Siliciumoxidentfernung

EP4493632 Art A1 22. Januar 2025

Anmelder: Versum Materials US, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4493632
Aktenzeichen
EP23771528
Anmeldetag
8. März 2023
Veröffentlichung
22. Januar 2025
Rechtsraum
EP
IPC
C09G1/02C09K3/14
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Versum Materials US, LLC
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Versum Materials US

Versum Materials US, LLC war ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und -gasen für die Halbleiterfertigung, der 2019 von Merck KGaA übernommen wurde. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Oberflächentechnik, ergänzt um Farben, Klebstoffe und organische Chemie. Anmeldungen erfolgten zwischen 2002 und 2025.

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