Fib- und Sem-Auflösungsverbesserung mittels Asymmetrischer Sondenentfaltung

EP4495974 Art A1 22. Januar 2025

Anmelder: FEI Company 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4495974
Aktenzeichen: EP24189486
Anmeldetag: 18. Juli 2024
Veröffentlichung: 22. Januar 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/22H01J37/26

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: FEI Company
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 FEI Company

US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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