Verfahren zur Optimierung einer Gewichtung für Parameter von Interessensdaten und Zugehörige Metrologie- und Lithografische Vorrichtungen
EP4498163
Art A1
29. Januar 2025
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4498163
- Aktenzeichen
- EP23188234
- Anmeldetag
- 27. Juli 2023
- Veröffentlichung
- 29. Januar 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Disclosed is a method of optimizing a weighting for parameter of interest data. The method comprises obtaining parameter of interest data and reference data relating to a lithographic process, optimizing the weighting such that application of the weighting to said parameter of interest data improves performance of said lithographic process in terms of the reference parameter; and constraining the optimization so as to penalize changes in an average of reference data.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
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Fachgebiete
Vertreten von
-
ASML Netherlands B.V
ASML Netherlands B.V · Veldhoven