Substratkassettenhandhabungsvorrichtung, Substratverarbeitungsvorrichtung, Substratverarbeitungsverfahren und Programm
EP4498412
Art A3
12. März 2025
Anmelder: Kokusai Electric Corp. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4498412
- Aktenzeichen
- EP24181814
- Anmeldetag
- 12. Juni 2024
- Veröffentlichung
- 12. März 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/677H01L21/68H01L21/67
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kokusai Electric Corp.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Kokusai Electric
Kokusai Electric ist ein japanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Schwerpunkt Wärmebehandlungssysteme. Das Patentportfolio konzentriert sich fast vollständig auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.
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Kanzlei
Thomas Verscht Patentanwalt
München, Deutschland
Münchner Patentanwalt Thomas Verscht, Diplom-Physiker, berät zu Patenten, Marken und Designs für nationale und internationale Mandanten.
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