Optischer Impulsdehner

EP4500644 Art A1 5. Februar 2025

Anmelder: Cymer, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4500644
Aktenzeichen: EP23715295
Anmeldetag: 6. März 2023
Veröffentlichung: 5. Februar 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H01S3/00G02B27/00G02B27/62G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Cymer, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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