Datenverarbeitungsverfahren, Verfahren und System zur Beurteilung Geladener Teilchen

EP4502926 Art A1 5. Februar 2025

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4502926
Aktenzeichen: EP23188908
Anmeldetag: 1. August 2023
Veröffentlichung: 5. Februar 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G06T7/00G06T7/194G01N23/2251G03F7/00G06V20/69H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung

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