Werkzeug und Verfahren zum Elektrochemischen Ätzen

EP4504648 Art A1 12. Februar 2025

Anmelder: Board of Regents, The University of Texas System 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4504648
Aktenzeichen: EP23785379
Anmeldetag: 6. April 2023
Veröffentlichung: 12. Februar 2025
Rechtsraum: EP
IPC: B82Y30/00B82Y40/00H01L21/02H01L21/302H01L21/56H01L21/768

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Board of Regents, The University of Texas System
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 University of Texas System

US-amerikanischer Universitätsverbund mit Sitz in Austin, Texas, bestehend aus mehreren Hochschulen und medizinischen Zentren. Der University of Texas System ist in Forschung zu Medizin, Naturwissenschaften, Ingenieurwesen und Biotechnologie aktiv.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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