Abscheidung von Metallhaltigen Filmen und Kammerreinigung

EP4505506 Art A1 12. Februar 2025

Anmelder: LAM Research Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4505506
Aktenzeichen: EP23785342
Anmeldetag: 5. April 2023
Veröffentlichung: 12. Februar 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/02H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM Research Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von