Mikroelektronische Vorrichtung mit einem Mantelgitter und Verfahren zur Herstellung einer Solchen Vorrichtung

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP4507008

Aktenzeichen

EP24192998

Anmeldetag

6. August 2024

Veröffentlichung

12. Februar 2025

Rechtsraum

EP

IPC

H01L29/775H01L29/778H01L29/06H01L29/24H01L29/423H01L21/336// B82Y10/00H01L29/16

Abstract

L'invention porte sur un dispositif comprenant des transistors (T1, T2, T3) comprenant chacun : • un canal (41) à base d'un matériau semiconducteur, • une grille (50) enrobante, entourant totalement ledit canal (41), • une source (42) et un drain (43) de part et d'autre du canal (41), et des contacts (60S, 60, 60D) de source et drain, • une couche diélectrique de grille (30) séparant le canal (41) et la grille (50) enrobante, • des espaceurs (70) de part et d'autre de la grille (50). Avantageusement, la couche diélectrique de grille (30) et les espaceurs (70) sont formés par au moins une seule et même couche continue (73) entourant la grille (50) enrobante. L'invention porte également sur un procédé de réalisation d'un tel dispositif.

Anmelder

Firma

Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives

Land

🇫🇷 Frankreich

Fachgebiete