Verfahren zur Herstellung Optoelektronischer Vorrichtungen

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP4507141

Aktenzeichen

EP24192705

Anmeldetag

2. August 2024

Veröffentlichung

11. Februar 2026

Erteilung

11. Februar 2026

Rechtsraum

EP

IPC

H01S5/02H01S5/12H01S5/40H01S5/343

Abstract

L'invention porte sur un procédé de fabrication d'un premier dispositif optoélectronique fonctionnant à une longueur d'onde λ1 et d'un deuxième dispositif optoélectronique fonctionnant à une longueur d'onde λ2 > λ1, le premier dispositif comprenant un premier empilement comprenant une première couche (10) d'encapsulation d'épaisseur e10 et des couches (11, 12, 13, 14, 15) d'épaisseur e1i (i = 1...n), et le deuxième dispositif comprenant un deuxième empilement comprenant une deuxième couche (20) d'encapsulation d'épaisseur e20 et des couches (21, 22, 23, 24, 25) d'épaisseur e2i (i = 1...n), le procédé comprenant : • Former le deuxième empilement en dimensionnant les épaisseurs e20 et e2i en fonction de λ2, • Former le premier empilement en dimensionnant les épaisseurs e1i par homothétie et ajuster l'épaisseur e10 pour que les empilements présentent la même hauteur, • Réaliser une même étape technologique (E3, E4, E5, E6) sur les empilements.

Anmelder

Firma

Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives

Land

🇫🇷 Frankreich

Fachgebiete