Waferhalter zur Reduzierung der Elektrischen Feldverzerrung in der Nähe des Waferrandes

EP4508673 Art A1 19. Februar 2025

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4508673
Aktenzeichen: EP23711422
Anmeldetag: 13. März 2023
Veröffentlichung: 19. Februar 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/20H01L21/683

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

3.336 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von