Verfahren zur Bewertung der Biegesteifigkeit von Nanostrukturen mit Hohem Aspektverhältnis

EP4509825 Art B1 26. November 2025

Anmelder: IMEC VZW 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4509825
Aktenzeichen: EP23191219
Anmeldetag: 12. August 2023
Veröffentlichung: 26. November 2025
Erteilung: 26. November 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G01N23/2251H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: IMEC VZW
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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