System und Verfahren zur Bestimmung eines Dotierungsprofils einer Probe

EP4511635 Art A1 26. Februar 2025

Anmelder: Technische Universiteit Eindhoven 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4511635
Aktenzeichen: EP23719917
Anmeldetag: 21. April 2023
Veröffentlichung: 26. Februar 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G01N21/3586H01L21/66G01Q60/22G01J3/42G01N21/63G01N21/17G01N33/00G01N21/95

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Technische Universiteit Eindhoven
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 Technische Universiteit Eindhoven

Die Technische Universiteit Eindhoven ist eine niederländische Technische Hochschule mit breiter Forschung in Medizintechnik, Halbleitertechnik und Materialwissenschaften. Ihr Patentportfolio deckt Medizintechnik, Halbleiterbauelemente, Mess- und Softwaretechnik ab.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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