Verfahren zur Herstellung eines Substrats mit Rastersondenmikroskopiespitzen

EP4513201 Art A1 26. Februar 2025

Anmelder: Imec VZW 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4513201
Aktenzeichen: EP23192489
Anmeldetag: 21. August 2023
Veröffentlichung: 26. Februar 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G01Q70/16G01Q70/10B81C1/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Imec VZW
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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