Inspektion von Adaptiven Strukturierten Werkstücken mit Dynamischem Design und Tiefenlernen-Basierter Darstellung

EP4515216 Art A1 5. März 2025

Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4515216
Aktenzeichen
EP23873644
Anmeldetag
29. September 2023
Veröffentlichung
5. März 2025
Rechtsraum
EP
IPC
G01N21/88G01N21/95G01N21/956G06T7/00G06N3/0464G06N3/08H01L21/66
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
KLA Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

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