Verbesserte Dichtung

EP4517137 Art A1 5. März 2025

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4517137
Aktenzeichen: EP23193758
Anmeldetag: 28. August 2023
Veröffentlichung: 5. März 2025
Rechtsraum: EP
IPC: F16J15/10F16J15/12G03F7/00H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Maschinenelemente & Fluidtechnik Optik & Fototechnik

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