Verfahren zur Herstellung einer Schicht auf der Basis eines Dielektrischen Materials auf einer Schicht auf der Basis eines Geätzten Iii-V-Materials

EP4519907 Art A1 12. März 2025

Anmelder: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives, Université Grenoble Alpes, Institut Polytechnique de Grenoble, Centre National de la Recherche Scientifique 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4519907
Aktenzeichen: EP23723565
Anmeldetag: 4. Mai 2023
Veröffentlichung: 12. März 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/02H01L21/306H01L29/20H01L33/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives
Université Grenoble Alpes
Institut Polytechnique de Grenoble
Centre National de la Recherche Scientifique
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 CEA (Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives)

Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.

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🇫🇷 Université Grenoble Alpes

Französische Universität mit Sitz in Grenoble, entstanden aus Zusammenschluss mehrerer Hochschulen, mit Lehre und Forschung in Natur-, Ingenieur-, Geistes- und Sozialwissenschaften.

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🇫🇷 Institut Polytechnique de Grenoble

Französische Ingenieurhochschule (Grenoble INP) mit Forschungsschwerpunkten in Informatik, Elektrotechnik, Materialwissenschaften und Energietechnik.

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🇫🇷 Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

Französische staatliche Forschungsorganisation mit Sitz in Paris. Betreibt Grundlagen- und angewandte Forschung in nahezu allen wissenschaftlichen Disziplinen über zahlreiche Institute und Labore.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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