Molybdänhalogenide in Speicheranwendungen

EP4519908 Art A1 12. März 2025

Anmelder: Lam Research Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4519908
Aktenzeichen: EP23799823
Anmeldetag: 25. April 2023
Veröffentlichung: 12. März 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/311H01L21/02H10B41/27H10B43/27

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Lam Research Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von