Ladungsteilchenstrahlvorrichtung und Kamerabildanzeigeverfahren

EP4521445 Art A3 11. Juni 2025

Anmelder: JEOL Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4521445
Aktenzeichen: EP24186098
Anmeldetag: 2. Juli 2024
Veröffentlichung: 11. Juni 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/20H01J37/28H01J37/26H01J37/244H01J37/22

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JEOL Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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