Schalenanordnungen für Vorläuferabgabesysteme und Zugehörige Verfahren
EP4522779
Art A1
19. März 2025
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4522779
- Aktenzeichen
- EP23804375
- Anmeldetag
- 13. Mai 2023
- Veröffentlichung
- 19. März 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/448C23C16/08C23C16/44C23C14/16C23C14/18H01L21/67
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
899 Patente in unserer Datenbank