Atomstrahlerzeugungsvorrichtung, Physikpaket und Physikpaket

EP4525560 Art A1 19. März 2025

Anmelder: RIKEN, JEOL Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4525560
Aktenzeichen: EP23803509
Anmeldetag: 1. Mai 2023
Veröffentlichung: 19. März 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H05H3/02H05B6/26H01S1/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: RIKEN
JEOL Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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