Verfahren zur Kapazitiv Gekoppelten Plasmaabscheidung von Atomschichten

EP4526917 Art A1 26. März 2025

Anmelder: Université Grenoble Alpes, Centre National de la Recherche Scientifique 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4526917
Aktenzeichen: EP23726990
Anmeldetag: 15. Mai 2023
Veröffentlichung: 26. März 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/32H05H1/46C23C16/455C23C16/52C23C16/509C23C16/458

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: Université Grenoble Alpes
Centre National de la Recherche Scientifique
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Université Grenoble Alpes

Französische Universität mit Sitz in Grenoble, entstanden aus Zusammenschluss mehrerer Hochschulen, mit Lehre und Forschung in Natur-, Ingenieur-, Geistes- und Sozialwissenschaften.

481 Patente in unserer Datenbank

🇫🇷 Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

Französische staatliche Forschungsorganisation mit Sitz in Paris. Betreibt Grundlagen- und angewandte Forschung in nahezu allen wissenschaftlichen Disziplinen über zahlreiche Institute und Labore.

7.147 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von