Verfahren zur Herstellung einer Wässrigen Lösung einer Gereinigten Aminosilanolverbindung und Aminosiloxanverbindung sowie Zusammensetzung zum Ätzen
EP4527841
Art A1
26. März 2025
Anmelder: SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4527841
- Aktenzeichen
- EP23807413
- Anmeldetag
- 27. April 2023
- Veröffentlichung
- 26. März 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C07F7/10H01L21/306H01L21/308
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Shin-Etsu Chemical
Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.
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Vertreten von
-
Mewburn Ellis LLP
Mewburn Ellis LLP · München