Temperaturmessanordnung, Substratverarbeitungsvorrichtung, Verfahren zur Substratverarbeitung und Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelements

EP4528238 Art A1 26. März 2025

Anmelder: Kokusai Electric Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4528238
Aktenzeichen: EP24189309
Anmeldetag: 18. Juli 2024
Veröffentlichung: 26. März 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G01K1/08G01K13/024

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Kokusai Electric Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kokusai Electric

Kokusai Electric ist ein japanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Schwerpunkt Wärmebehandlungssysteme. Das Patentportfolio konzentriert sich fast vollständig auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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