Anzeigeverarbeitungsvorrichtung, Substratverarbeitungsvorrichtung, Anzeigeverfahren, Substratverarbeitungsverfahren, Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelements und Programm

EP4528409 Art A1 26. März 2025

Anmelder: Kokusai Electric Corp. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4528409
Aktenzeichen
EP24192961
Anmeldetag
5. August 2024
Veröffentlichung
26. März 2025
Rechtsraum
EP
IPC
G05B19/4068// G05B19/409G05B19/418
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Kokusai Electric Corp.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Kokusai Electric

Kokusai Electric ist ein japanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Schwerpunkt Wärmebehandlungssysteme. Das Patentportfolio konzentriert sich fast vollständig auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

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Thomas Verscht Patentanwalt München, Deutschland

Münchner Patentanwalt Thomas Verscht, Diplom-Physiker, berät zu Patenten, Marken und Designs für nationale und internationale Mandanten.

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