Verfahren zur Herstellung einer Vergrabenen Verbindungsstruktur

EP4528796 Art B1 11. März 2026

Anmelder: Imec VZW 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4528796
Aktenzeichen: EP23198602
Anmeldetag: 20. September 2023
Veröffentlichung: 11. März 2026
Erteilung: 11. März 2026
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/768H01L23/528H01L23/535H01L21/74

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Imec VZW
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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