In-Situ-Behandlung von Molybdänoxyhalogenidnebenprodukten in einer Halbleiterverarbeitungsanlage

EP4529572 Art A1 2. April 2025

Anmelder: Lam Research Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4529572
Aktenzeichen: EP23812390
Anmeldetag: 19. Mai 2023
Veröffentlichung: 2. April 2025
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/44C23C16/455C23C16/08C23C16/448H01L21/285

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Lam Research Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von