Strahlwinkeldrehung und Probenrotation

EP4531073 Art A3 3. September 2025

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4531073
Aktenzeichen: EP24202622
Anmeldetag: 25. September 2024
Veröffentlichung: 3. September 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/304H01J37/302H01J37/305H01J37/30

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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