Schnelle Hochspannung zur Ionisierungsverbesserung für das Sputterverfahren

EP4531074 Art A1 2. April 2025

Anmelder: Centre National de la Recherche Scientifique, Université de Lorraine 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4531074
Aktenzeichen: EP23306644
Anmeldetag: 29. September 2023
Veröffentlichung: 2. April 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/32F03H1/00H01J37/34H05H1/54

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Centre National de la Recherche Scientifique
Université de Lorraine
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

Französische staatliche Forschungsorganisation mit Sitz in Paris. Betreibt Grundlagen- und angewandte Forschung in nahezu allen wissenschaftlichen Disziplinen über zahlreiche Institute und Labore.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen) Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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