Ätzmittelzusammensetzung und Verfahren
EP4532795
Art A1
9. April 2025
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4532795
- Aktenzeichen
- EP23812568
- Anmeldetag
- 25. Mai 2023
- Veröffentlichung
- 9. April 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23F1/26C23F1/38C23F11/14C23F11/173C09K13/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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