Ätzmittelzusammensetzung und Verfahren

EP4532795 Art A1 9. April 2025

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4532795
Aktenzeichen
EP23812568
Anmeldetag
25. Mai 2023
Veröffentlichung
9. April 2025
Rechtsraum
EP
IPC
C23F1/26C23F1/38C23F11/14C23F11/173C09K13/00
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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