Vorrichtungen zur Reinigung von Substraten und Zugehörige Verfahren
EP4533529
Art A1
9. April 2025
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4533529
- Aktenzeichen
- EP23816802
- Anmeldetag
- 2. Juni 2023
- Veröffentlichung
- 9. April 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/67H01L21/687
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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