Verfahren zur Herstellung einer Temperierenden Hohlstruktur in einem Substrat unter Verwendung eines Bearbeitungslichtstrahls

EP4534493 Art A1 9. April 2025

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4534493
Aktenzeichen: EP24182230
Anmeldetag: 14. Juni 2024
Veröffentlichung: 9. April 2025
Rechtsraum: EP
IPC: C03C15/00C03C17/34C03C23/00G03F7/00B23K26/064B23K26/55

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Optik & Fototechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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