Temperaturmessanordnung, Substratverarbeitungsvorrichtung, Verfahren zur Substratverarbeitung und Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelements

EP4534965 Art A1 9. April 2025

Anmelder: Kokusai Electric Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4534965
Aktenzeichen: EP24197548
Anmeldetag: 30. August 2024
Veröffentlichung: 9. April 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G01K1/08F27D21/00G01K1/10

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Kokusai Electric Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kokusai Electric

Kokusai Electric ist ein japanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Schwerpunkt Wärmebehandlungssysteme. Das Patentportfolio konzentriert sich fast vollständig auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

538 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

Vertreten von