Zweisäulenparalleler Ccd-Sensor und Inspektionssysteme mit Sensor
EP4534987
Art A1
9. April 2025
Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4534987
- Aktenzeichen
- EP25157265
- Anmeldetag
- 5. April 2017
- Veröffentlichung
- 9. April 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N21/95G01N21/956H04N25/63H04N25/71H04N25/713H04N25/715H04N25/72H04N25/75H10F39/15
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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