Verfahren zur Erneuerung eines Substratträgers
EP4535083
Art A1
9. April 2025
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4535083
- Aktenzeichen
- EP23202227
- Anmeldetag
- 6. Oktober 2023
- Veröffentlichung
- 9. April 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
A method of refurbishing a substrate support, the substrate support comprising: a first surface, configured to support a substrate; and a second surface, opposite to the first surface. The method comprises: depositing a material on the second surface to form a coating layer which increases a thickness of the substrate support; and removing material from the first surface.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
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Fachgebiete
Vertreten von
-
ASML Netherlands B.V
ASML Netherlands B.V · Veldhoven