Herstellung eines 2D-Materialstapels

EP4535401 Art A1 9. April 2025

Anmelder: Imec VZW, Katholieke Universiteit Leuven 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4535401
Aktenzeichen: EP23201642
Anmeldetag: 4. Oktober 2023
Veröffentlichung: 9. April 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/20H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Imec VZW
Katholieke Universiteit Leuven
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 Katholieke Universiteit Leuven

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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