Verfahren zur Herstellung einer Speicherstruktur für einen 3D-Nand-Flash-Speicher

EP4535402 Art A1 9. April 2025

Anmelder: Imec VZW 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4535402
Aktenzeichen: EP23202146
Anmeldetag: 6. Oktober 2023
Veröffentlichung: 9. April 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/28H10B41/27H10B43/27H01L29/49H01L29/792

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Imec VZW
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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