Verfahren zum Dünnen eines Halbleitersubstrats

EP4535411 Art A1 9. April 2025

Anmelder: IMEC VZW, Imec VZW 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4535411
Aktenzeichen: EP23202138
Anmeldetag: 6. Oktober 2023
Veröffentlichung: 9. April 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H10P90/00H10W10/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: IMEC VZW
Imec VZW
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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