Beleuchtungsoptik für ein Maskeninspektionssystem zur Verwendung mit Euv-Beleuchtungslicht

EP4537157 Art A1 16. April 2025

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4537157
Aktenzeichen: EP23730104
Anmeldetag: 1. Juni 2023
Veröffentlichung: 16. April 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G03F1/84G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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