Ansichtsfensteranordnung für eine Extrem-Ultraviolett-Lichtquelle

EP4537158 Art A1 16. April 2025

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4537158
Aktenzeichen: EP23728323
Anmeldetag: 22. Mai 2023
Veröffentlichung: 16. April 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/00G02B7/00H05G2/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

3.336 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Optik & Fototechnik

Vertreten von