Verfahren zur Herstellung einer Zusammenhängenden Nitridschicht
Anmelder: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives, Centre National de la Recherche Scientifique, Université Grenoble Alpes, Institut Polytechnique de Grenoble 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4539101
- Aktenzeichen
- EP24204440
- Anmeldetag
- 3. Oktober 2024
- Veröffentlichung
- 21. Januar 2026
- Erteilung
- 21. Januar 2026
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/20C30B29/40H10H20/00
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives
Centre National de la Recherche Scientifique
Université Grenoble Alpes
Institut Polytechnique de Grenoble - Land
- 🇫🇷 Frankreich
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