Verfahren zur Verarbeitung eines Siliciumcarbid-Einkristallsubstrats und System zur Verarbeitung eines Siliciumcarbid-Einkristallsubstrats

EP4539105 Art A1 16. April 2025

Anmelder: TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4539105
Aktenzeichen: EP23831306
Anmeldetag: 23. Juni 2023
Veröffentlichung: 16. April 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/02H01L21/316H01L21/306H01L21/3065C25D11/32C30B29/36C30B33/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Ohka Kogyo

Tokyo Ohka Kogyo (TOK) ist ein japanischer Chemiekonzern, der vor allem Fotolacke und Materialien für die Halbleiterfertigung herstellt. Das Portfolio konzentriert sich entsprechend auf Optik und Fototechnik sowie Halbleiter- und Bauelemente-Technik, ergänzt durch Kunststoff- und organische Chemie. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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