Verfahren zum Ätzen von Polysilizium
EP4540338
Art A1
23. April 2025
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4540338
- Aktenzeichen
- EP23824661
- Anmeldetag
- 16. Juni 2023
- Veröffentlichung
- 23. April 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C09K13/00H01L21/3213H01L21/02H01L21/311
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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