System zur Verarbeitung von Waferförmigen Artikeln

EP4540858 Art A1 23. April 2025

Anmelder: Lam Research AG 🇦🇹

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4540858
Aktenzeichen: EP23734494
Anmeldetag: 16. Juni 2023
Veröffentlichung: 23. April 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/67H01L21/687

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Lam Research AG
Land: 🇦🇹 Österreich

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von