Scrollvakuumpumpe mit Integriertem Drucksensor

EP4542048 Art A3 9. Juli 2025

Anmelder: Pfeiffer Vacuum GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4542048
Aktenzeichen
EP25161936
Anmeldetag
29. September 2020
Veröffentlichung
9. Juli 2025
Rechtsraum
EP
IPC
F01C21/10F04C25/02F04D19/04F04C18/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Pfeiffer Vacuum GmbH
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Pfeiffer Vacuum

Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.

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