System mit Fokussiertem Ionenstrahl

EP4542619 Art A3 11. Juni 2025

Anmelder: Jeol Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4542619
Aktenzeichen
EP24201693
Anmeldetag
20. September 2024
Veröffentlichung
11. Juni 2025
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/305H01J37/28H01J37/08H01J37/02H01J37/244
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Jeol Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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