Plasmaverstärkte Niedertemperatur-Atomschichtabscheidung von Metallen

EP4544095 Art A1 30. April 2025

Anmelder: LAM Research Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4544095
Aktenzeichen: EP23828096
Anmeldetag: 23. Juni 2023
Veröffentlichung: 30. April 2025
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/455C23C16/06C23C16/458H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM Research Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von